容栅传感器的基本测量部分是一个差动电容器,利用电容的电荷耦合方式将机械位移量转变为电信号的相应变化量,该电信号经过变换和运算后显示出机械位移量的大小。容栅传感器有以下检测特点: (1)传感器采用等节距的栅型结构,使测量的精度不直接与长度有关,故非常适宜于大位移测量。 (2)测量速度快,分辨率高。 (3) 测量功率小。由于传感器本身的介质损耗和静电引力都很小,并采用大规模CMOS集成电路,使电路能在低功耗下工作。 一颗氧化银纽扣电池可连续工作一年时间,因此被称为准绝对式测量。
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